• Source : Canon à électrons à émission de champ Schottky intégré à la lentille.
• Modes de vide :
  • Mode vide élevé, idéal pour l’observation d’échantillons conducteurs.
  • Mode basse pression (low-vacuum) adapté aux échantillons semi-conducteurs ou isolants.
  • Mode Gentle Beam pour les échantillons biologiques.
• Résolution : 1 nm.
• Stade de l’échantillon : Platine goniométrique entièrement eucentrique.
• Mouvement de scène :
  • X : 70 mm
  • Y : 50 mm
  • Z : 2 à 41 mm
  • Inclinaison : -5 à 70 °
• Rotation : 360 °.
• Grossissement : 10× à 1 000 000×.
• Accessoires :
  • Détecteur d’électrons secondaires.
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés.
  • Spectrométrie de rayons X à dispersion d’énergie.

- Canon thermoïonique au Tungstène
- Tension d'accélération : 200 V à 30 kV
- Résolution : 3 nm, Grossissement : 2.5x à 1 000 000x
- Détecteurs : électrons secondaires, rétrodiffusés, EDS

- Plage de balayage : X/Y > 90 µm, Z > 10 µm
- Résolution : <2 nm (fermée), <0.2 nm (ouverte)
- Capable de balayer 1 µm²
- Taille échantillon : ≥ 20x20x5 mm